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常見氣密測試方法
l常見氣密測試方法
SCC/S （標準毫升／秒）
SCC/M （標準毫升／分鐘）
1scc/s= 60scc/m=1atm.cc/s=1.013mbar.L/s=0.76Torr-L/s=0.1013Pa-m3/s
| 方法 | 概要 | 可檢測洩漏量(Pa.m3/s) | 後處理 | 可靠性 | 備註 |
| 水浸式洩漏檢查 | 充入空氣後使被測物浸入水中，以目視觀察氣泡是否產生 | ~10-4 | 必要 |  |
根據作業者的熟練度判斷其差別 |
| 乾式洩漏檢查 | 以空氣壓力，利用壓力差來判斷良品 | 10-3~10-4 | 不要 |  |
環境溫度、產品溫度的不同有可能產生誤差 |
| He 洩漏檢查 (探測器檢測法) |
He氣體充入被測物內，依據探頭/檢測器檢測洩漏現象 | 10-3~10-6 | 不要 | |
不能檢測被測物總洩漏量 |
| He 洩漏檢查 (真空背壓檢測法) |
將He充入被測物內，並將被測物置放真空容器內，以此檢測He的洩漏 | 10-12 | 不要 |  |
不可測定洩漏點 |
l常用壓力降單位
PSI – Pascal – MPa – inWC – atm – KPa – bar – mbar – mmHgl常用漏率單位
SCC (常溫常壓下的標準毫升)SCC/S （標準毫升／秒）
SCC/M （標準毫升／分鐘）
1scc/s= 60scc/m=1atm.cc/s=1.013mbar.L/s=0.76Torr-L/s=0.1013Pa-m3/s